一種差分電容式微加速度計(jì)
- 發(fā)明專利
- 2013-10-23
- 轉(zhuǎn)讓
- G : 物理 G01 : 測(cè)量；測(cè)試
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本發(fā)明公開(kāi)了一種差分電容式微加速度計(jì)，它包括上移動(dòng)板、下移動(dòng)板和固定在上移動(dòng)板和下移動(dòng)板上的彈性梁，所述的上移動(dòng)板和下移動(dòng)板的兩個(gè)相對(duì)面上分別固定有上活動(dòng)極板和下活動(dòng)極板，所述的上移動(dòng)板和下移動(dòng)板之間還設(shè)置有固定極板，所述的固定極板為菱形。其優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作工序簡(jiǎn)單，且電容差值變化沿一定的規(guī)律變化，可簡(jiǎn)化后續(xù)的信號(hào)處理電路。
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